概要

マクセルのウェハバンピングサービスは、様々なウェハへ信頼性が高い(高さのバラつきが小さく、ボイドを抑制)はんだボール搭載受託加工を行っています。UBM加工(電解メッキ/無電解メッキ)/再配線/バンプ形成の受託も可能です。

また、当社の電鋳技術によるはんだボール搭載マスクも販売を行っております。当社の特殊構造マスクを使用することで、Φ50µm以下のはんだボールの搭載を実現した実績もございます。

試作の小ロットから量産対応まで、お気軽にお問い合わせください。

掲載日:2018年9月4日

ウェハバンピングサービスの特長

長年培ってきた電鋳技術を用いた特殊治具を使用することで、半導体ウェハへはんだボール(Φ100µm以下)を搭載し、高精度なハンダバンプを形成することが可能です。はんだボールを使用するため、ボイドレスのバンプ形成が可能であり、高いコプラナリティを実現します。

特長

•対応ウェハ:6、8インチ(Si、SiC、サファイア、ガラス、化合物半導体)

•搭載可能ボール径:50µm以下搭載実績あり

•対応枚数:1枚からの試作および量産に対応

•搭載方式:振込法(はんだボール搭載マスクを用いて、所定位置にボールを振り込む方式)

•UBM(アンダーバリアメタル)加工:電解メッキ/無電解メッキ 共に対応可能

•絶縁層加工:感光性樹脂(PBO)を用いた絶縁層加工も対応可能

•後工程:協力会社にてバックグラインド、レーザーマーク、ダイシング、テープ詰めなども対応可能

ウェハバンピングサービスのイメージ

印刷用マスクおよびはんだボール搭載マスクのみのご提供もいたします。

•再配線・電解UBM・無電解UBMの加工も可能です。

  • 詳細については、お気軽にお問い合わせください。
Q901:
[電鋳/めっきの用語解説]: EF2
Q902:
[電鋳/めっきの用語解説]: 電鋳(電気鋳造)
Q903:
[電鋳/めっきの用語解説]: 電気メッキ
Q904:
[電鋳/めっきの用語解説]: 無電解メッキ
Q905:
[電鋳/めっきの用語解説]: 蛍光X線測定機
Q906:
[電鋳/めっきの用語解説]: コンフォーカル顕微鏡
Q907:
[電鋳/めっきの用語解説]: SEM
Q908:
[電鋳/めっきの用語解説]: アライナー
Q909:
[電鋳/めっきの用語解説]: ステッパー
Q910:
[電鋳/めっきの用語解説]: 蒸着
Q911:
[電鋳/めっきの用語解説]: スパッタ
Q912:
[電鋳/めっきの用語解説]: 露光
Q913:
[電鋳/めっきの用語解説]: 現像
Q914:
[電鋳/めっきの用語解説]: レジスト
Q915:
[電鋳/めっきの用語解説]: レジストラミネート
Q916:
[電鋳/めっきの用語解説]: レジスト塗布
Q917:
[電鋳/めっきの用語解説]: 研磨
Q918:
[電鋳/めっきの用語解説]: 電解研磨
Q919:
[電鋳/めっきの用語解説]: Niメッキ
Q920:
[電鋳/めっきの用語解説]: NiCoメッキ
Q921:
[電鋳/めっきの用語解説]: Au
Q922:
[電鋳/めっきの用語解説]: Ag
Q923:
[電鋳/めっきの用語解説]: Cu
Q924:
[電鋳/めっきの用語解説]: 光沢剤
Q925:
[電鋳/めっきの用語解説]: pH
Q926:
[電鋳/めっきの用語解説]: アノード
Q927:
[電鋳/めっきの用語解説]: カソード
Q928:
[電鋳/めっきの用語解説]: アノードバック
Q929:
[電鋳/めっきの用語解説]: クリーン度
Q930:
[電鋳/めっきの用語解説]: 静電気
Q931:
[電鋳/めっきの用語解説]: LIGA
Q932:
[電鋳/めっきの用語解説]: MEMS
Q933:
[電鋳/めっきの用語解説]: エッチング
Q934:
[電鋳/めっきの用語解説]: レーザー加工
Q935:
[電鋳/めっきの用語解説]: メタルマスク
Q936:
[電鋳/めっきの用語解説]: SMT
Q937:
[電鋳/めっきの用語解説]: αメッシュ
Q938:
[電鋳/めっきの用語解説]: βメッシュ
Q939:
[電鋳/めっきの用語解説]: 蒸着マスク
Q940:
[電鋳/めっきの用語解説]: ボール搭載用マスク
Q941:
[電鋳/めっきの用語解説]: 吸着ヘッド
Q942:
[電鋳/めっきの用語解説]: ノズル
Q943:
[電鋳/めっきの用語解説]: インクジェット用ノズル
Q944:
[電鋳/めっきの用語解説]: オリフィスプレート
Q945:
[電鋳/めっきの用語解説]: フィルター
Q946:
[電鋳/めっきの用語解説]: 電鋳金型
Q947:
[電鋳/めっきの用語解説]: UBM
Q948:
[電鋳/めっきの用語解説]: 転写リード
Q949:
[電鋳/めっきの用語解説]: アスペクト比

ページ上部へ戻る