Q929: ［電鋳/めっきの用語解説］: クリーン度

一般的に最も多く使われている表記はFed209Dと呼ばれる規格で、1ｆｔ3中の0.5μｍ以上の微粒子の数で表します。これ以外にもJIS・ISO・Fed209Eなど、1m3方式の表示方法も多数あります。