Q909: ［電鋳/めっきの用語解説］: ステッパー

アライナーに対して、5：1等に縮小投影して半導体パターンなどを焼き付ける装置。近年では、さらに液浸というマスク（レチクル）とウエハー間を純水などで満たした方式が普及しています。