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マクセルでの高精度パターニングに使用している紫外線露光と異なり、X線を用いるものをLIGAと呼びます。国内でもシンクロトロン放射光施設等でのLIGAの研究や使用が盛んに検討されています。非常に直進性が高い光を使用するため、高アスペクト比の造形を行う事が可能になります。
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