Q916: ［電鋳/めっきの用語解説］: レジスト塗布

液体のレジストを基板に塗るための工程。基板やウエハーを高速回転させ、液体レジストをその上に滴下して遠心力によって平滑均一に塗布するものです。回転数とレジストの粘性で膜厚を変えることが可能。