Q911: ［電鋳/めっきの用語解説］: スパッタ

金属の成膜技術の一つ。高電圧を掛けたチャンバー内で、蒸着したいターゲット材に希ガスなどをぶつけて、飛ばされた金属原子をウエハーなどの表面に堆積させるもの。方式などは多岐に渡ります。