Q908: ［電鋳/めっきの用語解説］: アライナー

マスクアライナーとも言う。紫外線を用いてガラスマスクに描画されたパターンをウエハー上のレジストなどに投影焼き付けるための装置。マスクパターンと、投影されたパターンは同じサイズになります。