概要

壁面の平滑性を向上させた印刷性に優れるメタルマスクで、有機基板、ウェハ上への小径バンプ形成が可能です。

特長

1.孔部壁面粗さを更に平滑に、ペーストの抜け性をアップ

2.150µmピッチ以下の印刷も可能

主な仕様

最大メタルサイズ 660mm×540mm
板厚 5μm~90μm
板厚寸法精度 パターン部にて設定板厚の±5%(研磨加工が可能な場合)
孔寸法精度 設定値±3μm以下(母型=スキージ面寸法, Crマスクの場合)
ピッチ寸法精度 100mmスパンで±15μm以内(ガラスマスクの場合)

孔部拡大SEM写真

孔壁面粗度

Q901:
[電鋳/めっきの用語解説]: EF2
Q902:
[電鋳/めっきの用語解説]: 電鋳(電気鋳造)
Q903:
[電鋳/めっきの用語解説]: 電気メッキ
Q904:
[電鋳/めっきの用語解説]: 無電解メッキ
Q905:
[電鋳/めっきの用語解説]: 蛍光X線測定機
Q906:
[電鋳/めっきの用語解説]: コンフォーカル顕微鏡
Q907:
[電鋳/めっきの用語解説]: SEM
Q908:
[電鋳/めっきの用語解説]: アライナー
Q909:
[電鋳/めっきの用語解説]: ステッパー
Q910:
[電鋳/めっきの用語解説]: 蒸着
Q911:
[電鋳/めっきの用語解説]: スパッタ
Q912:
[電鋳/めっきの用語解説]: 露光
Q913:
[電鋳/めっきの用語解説]: 現像
Q914:
[電鋳/めっきの用語解説]: レジスト
Q915:
[電鋳/めっきの用語解説]: レジストラミネート
Q916:
[電鋳/めっきの用語解説]: レジスト塗布
Q917:
[電鋳/めっきの用語解説]: 研磨
Q918:
[電鋳/めっきの用語解説]: 電解研磨
Q919:
[電鋳/めっきの用語解説]: Niメッキ
Q920:
[電鋳/めっきの用語解説]: NiCoメッキ
Q921:
[電鋳/めっきの用語解説]: Au
Q922:
[電鋳/めっきの用語解説]: Ag
Q923:
[電鋳/めっきの用語解説]: Cu
Q924:
[電鋳/めっきの用語解説]: 光沢剤
Q925:
[電鋳/めっきの用語解説]: pH
Q926:
[電鋳/めっきの用語解説]: アノード
Q927:
[電鋳/めっきの用語解説]: カソード
Q928:
[電鋳/めっきの用語解説]: アノードバック
Q929:
[電鋳/めっきの用語解説]: クリーン度
Q930:
[電鋳/めっきの用語解説]: 静電気
Q931:
[電鋳/めっきの用語解説]: LIGA
Q932:
[電鋳/めっきの用語解説]: MEMS
Q933:
[電鋳/めっきの用語解説]: エッチング
Q934:
[電鋳/めっきの用語解説]: レーザー加工
Q935:
[電鋳/めっきの用語解説]: メタルマスク
Q936:
[電鋳/めっきの用語解説]: SMT
Q937:
[電鋳/めっきの用語解説]: αメッシュ
Q938:
[電鋳/めっきの用語解説]: βメッシュ
Q939:
[電鋳/めっきの用語解説]: 蒸着マスク
Q940:
[電鋳/めっきの用語解説]: ボール搭載用マスク
Q941:
[電鋳/めっきの用語解説]: 吸着ヘッド
Q942:
[電鋳/めっきの用語解説]: ノズル
Q943:
[電鋳/めっきの用語解説]: インクジェット用ノズル
Q944:
[電鋳/めっきの用語解説]: オリフィスプレート
Q945:
[電鋳/めっきの用語解説]: フィルター
Q946:
[電鋳/めっきの用語解説]: 電鋳金型
Q947:
[電鋳/めっきの用語解説]: UBM
Q948:
[電鋳/めっきの用語解説]: 転写リード
Q949:
[電鋳/めっきの用語解説]: アスペクト比

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